装置使用をご希望の方はスタッフまでお気軽にご相談ください。

成膜設備（薄膜エピタキシャル成長・蒸着）

有機金属気相成長装置
AIXTRON, CCS 3x2
パルススパッタリング装置
ULVAC, MBC-1000S
パルススパッタリング装置
Eiko, EW-Series
パルスレーザー堆積装置
PASCAL, PA-C-PLMBE
反応性スパッタリング装置
PASCAL, PA-SP
プラズマCVD装置
SAMCO, PD-10
RFスパッタリング装置
ANELVA, SPF-210H
RF/DCスパッタリング装置
ANELVA, SPF-210S-FH
電子ビーム蒸着装置
ANELVA, L-043E-TN
抵抗加熱蒸着装置
ANELVA, JEE-450T
クイックコータ
SANYU, SVC-700TM

プロセス設備（接合・エッチング・デバイス形成）

表面活性化接合装置
アユミ工業, VE-08-07
高圧印加装置
Trek, 609E-6など
反応性イオンエッチング装置
SAMCO, RIE-10N
ECRイオンシャワー装置
SAMCO, EIS-200ER
研磨装置
武蔵野電子, MA-200D・MA-150
ダイシング装置
DISCO, DAD323
ウエハスクライバ
0
UV・O3ストリッパ
SAMCO, UV-1
ダイボンダ
WEST-BOND, 7327C-79
ワイヤボンダ
MARPET ENTERPRISES, 1204B
ドラフトチャンバー（有機用）
ヤマト, HITECHOOD, FRS-180
ドラフトチャンバー（酸・アルカリ用）
ヤマト, HITECHOOD, FRS-180

リソグラフィー設備（電子線リソ・フォトリソ）

電子線描画装置
エリオニクス, ELS-3700
マスクアライナ
ミカサ，MA-10
スピンコータ
ミカサ，MS-A100・1H-DXII
コンベクションオーブン
YAMATO DX300・Masuda SA312

熱処理設備（アニール）

高温熱処理炉
MOTOYAMA, SUPERBURN
汎用熱処理装置
光洋サーモシステム, KTF453N
マッフル炉
YAMATO，FP310
雰囲気電気炉
フルテック, FT-101FM
雰囲気電気炉
SHIBATA, GTO-350RD
高速熱処理装置
サーモ理工, IVF298W
卓上型ランプ加熱装置
アルバック真空理工, MILA-3000

観察装置（顕微鏡）

多光子励起蛍光顕微鏡
NIKON, A1RMP+
走査型電子顕微鏡
JEOL, JSM-5310CE
走査型プローブ顕微鏡
SII, S-image
共焦点顕微鏡
Lasertec, OPTELICS C130
微分干渉顕微鏡
OLYMPUS, BX51
微分干渉顕微鏡
OLYMPUS, MX61
触針段差計
ULVAC, DEKTAK

物性測定系

マニュアルプローバ
睦コーポレーション, MMP-ILS-TU3
フォトルミネッセンス（405 nm励起）
自作, OU405TT
フォトルミネッセンス（320 nm励起）
自作, OU320TT
半導体レーザ評価装置
自作
引張試験機
IMADA, MX-5000N-E
Hall測定システム
東陽テクニカ, ResiTest8300
光導波路デバイス測定システム
レーザー科学研究所内
低温顕微フォトルミネッセンス
低温センター内

レーザ関連機器
チタンサファイアレーザ スペクトラフィジクス 3900S×2
超短パルスレーザ  フォトテクニカ  FLINT N800
超短パルスレーザ フォトテクニカ PHAROS 04-200-PP
水冷アルゴンレーザ スペクトラフィジクス Stabilite 2016・2017
空冷アルゴンレーザ MODU-LASER Stellar-Pro 488/50
He-Cdレーザ 金門光波 IK3501R-G/KR, CD4123R
波長可変半導体レーザ SDL SDL-8630, 824×2
Sacher Lesertechnik TEC320, 300PC
Toptica Photonics DL100L/DC/DDC/DTC/SC110
santec TSL-210×2・TSL-210V
半導体レーザ コヒーレント OBIS405LX 
DPSSレーザ LASOS  DLK2020TS
MOPA LD SDL SDL-5762-A4
DFB LD ファイバーラボ DFB-LD-1550-8-AP
高出力固体レーザ LIGHTWAVE Electronics 126-1064-700
コヒーレント Genesis CX355-40 SLM
LDドライバ 旭データシステムズ ALP-7033CA×2, 7033CB
ALP-7033CC, 7233CA×2
Wavelength Electronics LFI-3551/4532/4505
LDコントローラ ILX Light Wave LDC-3900
パルスカレントソース ILX Light Wave LDP-3811×2
パルスLDドライバ ILX Light Wave LDP-3840
カレントソース ILX Light Wave LDX-3412
温度コントローラ ILX Light Wave LDT-5910B/5525B×2/5525×2
THORLABS TC200×2
ファイバアンプ IPG LASER EAD-1K-C-LP, EAP-500
PriTel PMFA-L-30-IO
Keopsys KPS-BT2-C-５−PM-LI-FC










計測関連機器
単一光子検出器 ID Quantique id200×2・id201

Perkin Elmer SPCM-AQR-14-FC×2
フェムトワット検出器 Newport 2153M-IR
赤外検出器 Newfocus 2011×2
高速バイアス検出器 THORLABS DET10A/M×2
パワーメータ Newort 1830-C×3・835

THORLABS PM320E
赤外ビジコンカメラ 浜松ホトニクス C2741-03/C2741×2
時間差波高変換器/SCA ORTEC 567
ナノセカンド遅延器 ORTEC 425A
時間間隔アナライザ 横河電機 TA720
ボックスカー積分器 SRS SR280/250/250/245/200/235
ロックインアンプ エヌエフ回路設計ブロック LI5640・LI5630
スペクトラムアナライザ アンリツ MS2661A
信号発生器 アジレントテクノロジー 8648B
アジレントテクノロジー 33210A
エヌエフ回路設計ブロック WF1974×2
横河電機 FG110×2・FG120×2
電圧増幅器  Trek  609E-6 
オシロスコープ テクトロニクス TDS8000B
テクトロニクス TDS3012×2
テクトロニクス TDS2014・TDS2012B
テクトロニクス TDS2004B×2・TDS2002
  テクトロニクス TBS2104
光スペアナ アンリツ MS9030AA＋MS9701A1
アンリツ MS9710B×3
横河電機 AQ6370
超高圧水銀ランプ ウシオ Optical ModuleX SX-UID 50
赤外分光光度計 島津製作所 FTIR-8400
回折格子分光器 Princeton Instruments SP2300
  Princeton Instruments IsoPlane 320
CCD分光器  オーシャンフォトニクス  USB2000+
     USB4000
     QEPro 
CCD検出器  Princeton Instruments PIXIS-100B-LF2-0S 
DC電源 アジレントテクノロジー E3631A×3
ソースメジャーユニット アドバンテスト R6243 
LCRメータ  アジレントテクノロジー  E4980A